风冷式精密冷水机

Name: 40马力空冷涡旋式冷水机，适用于半导体制造厂
Availability: InStock

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40马力空冷涡旋式冷水机，适用于半导体制造厂

40马力空冷涡旋式冷水机，适用于半导体制造厂

产品概述

这款专为微电子工厂设计的HX-40FW半导体冷却器，具备强大的冷却能力和严格的温度控制。作为一款先进的半导体风冷涡旋式冷却器，它能高效应对等离子刻蚀、晶圆扩散和光刻设备产生的峰值热负荷，防止因温度波动导致的结构漂移和晶圆良率损失。该冷却器专为严苛的工业环境而设计，可全天候连续运行，确保满足现代洁净室制造对正常运行时间的严格要求。

产品优势

该机组配备多级PID控制回路，可实现精准的温度稳定性，满足晶圆厂关键热工况的需求，保障晶圆完整性。作为一套可靠的精密温度控制系统和芯片制造冷却设备，它集成了双回路涡旋压缩机，可实现快速负载响应和卓越的能效，有效防止重载循环中的热削波。其耐腐蚀的模块化风冷架构适用于对污染敏感的晶圆厂环境，具有低噪音、高平均故障间隔时间（MTBF）和简化的维护流程等优点。作为一台强劲的40马力工业冷水机组，HX-40FW能够轻松应对动态工艺设备的冷却需求。

型号 :
HX-FW
产品名称 :
40马力空冷涡旋式冷水机，适用于半导体制造厂
制冷能力 :
3～200千瓦
制冷剂 :
R407C/R410A/R134A
最小起订量 :
1个单位
应用 :
这款 HX-40FW 半导体冷却器适用于各种芯片生产。它可用于冷却微蚀刻工具以防止变形，维持光刻光学器件的热平衡，并为封装和自动测试设备 (ATE) 车间提供恒温回路。

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HX-FW系列一体式空冷工业冷水机

我们的 HX-FW 系列风冷式冷水机利用环境空气作为冷却源，能够可靠地将水冷却至您所需的精确温度。该系统结构紧凑、即插即用，内置水箱和水泵，无需外部冷却塔，是精密制造环境的理想之选。

容量范围： 3～200千瓦
温度范围： 5℃～30℃
压缩机类型：全封闭式涡旋（或活塞）
冷却介质：水
制冷剂： R407C / R410A / R134A 可选

即插即用，设计紧凑

该机组采用箱式结构，内置水箱和循环泵，无需复杂的冷却塔安装。它外观精美，占地面积小，安装和维护极其简便。

智能节能

可提供单压缩机或多压缩机配置。该系统可根据负载变化自动交替运行压缩机，平衡运行时间，从而在部分负载期间显著节省能源并延长设备使用寿命。

运行稳定、噪音低

采用全封闭式压缩机和高效铜管冷凝器/蒸发器。配备完善的安全保护装置和直观的液晶人机界面，确保低噪音、性能稳定，并易于实时监控。

设计特点

风冷式冷水机组产品特点：机组采用全封闭式压缩机和电子控制元件，冷凝器和蒸发器均采用高效优质铜管进行热交换；配备多种安全保护装置，性能稳定，噪音低，使用寿命长，操作简便；采用液晶显示人机界面，操作简单便捷，运行状态一目了然；制冷系统采用单压缩机或多压缩机组合，压缩机可根据负荷变化自动交替运行，平衡各压缩机的运行时间，从而达到节能和延长机组使用寿命的效果。易于调节能耗，部分负荷下更加节能；整机采用箱式结构，外观美观，结构紧凑，可随时查看机组运行情况；机组可根据制冷量配备独立的储水箱和循环水泵，无需冷却塔或冷却水泵，安装维护简便。

规格

	范围	HX-02FW	HX-03FW	HX-05FW	HX-06FW	HX-08FW	HX-10FW	HX-12FW	HX-15FW	HX-20FW	HX-25FW	HX-30FW	HX-40FW	HX-50FW
制冷量（千瓦）		5.4	8.1	13.5	16.2	21.6	27	32.4	40.5	54	67.5	81	108	135
制冷量（千卡/小时）		4644	6966	11610	13932	18576	23220	27864	34830	46440	58050	69660	92880	116100
总功率（千瓦）		2.02	2.82	4.52	5.27	7.13	9.15	11	13.25	19	22.7	28.3	36.7	47
运行电流（A）		12	5.6	9	11	14	18	22	26	38	45	56	72	94
电源		单相 220V 50Hz	三相 380V 50Hz
温度控制范围（℃）		5-35
温度控制精度（℃）		±1-2
制冷剂	类型	R407C / R410A / R134A
制冷剂	填充量（公斤）	1.6	1.8	2.8	3.2	4.4	5.6	6.8	8	12	15	18	22	28
压缩机	控制方法	毛细血管				热平衡膨胀阀
	形式	滚动
	功率（千瓦）	1.5*1	2.25*1	3.75*1	4.5*1	3.0*2	3.75*2	4.5*2	5.25*2	7.5*2	9.0*2	7.5*3	7.5*4	9.0*4
冰冻的水	水箱容积（升）	40	45	65	70	140	180	200	200	260	300	390	450	480
	储罐材料	SUS304不锈钢
	管道直径	G1/2"	G1”	G1”	G1”	G1”	G1-1/2"	G1-1/2"	G1-1/2"	G2”	G2”	G2-1/2"	G2-1/2"	G3”
水泵	头部（米）	20
水泵	功率（千瓦）	0.37	0.37	0.37	0.37	0.55	0.75	0.75	1.1	2.2	2.2	3	3	4
蒸发器	类型	水箱盘管式（壳管式）
蒸发器	水流量（立方米/小时）	1	1.8	3	3.6	4.8	6	7.2	9	12	15	18	24	30
冷凝器	类型	高效铜管加铝箔翅片式+外转子冷却风扇
	空气流量（立方米/小时）	2200	3300	5500	6000	8500	11000	11000	16500	22000	27500	33000	44000	55000
	风扇功率（瓦）	150	200	200*2	200*2	290*2	450*2	670*2	825*2	937*2	825*3	937*3	937*4	937*6
安全防护		压缩机过热保护、过电流保护、高低压保护、过温保护、流量保护、相序/缺相保护、排气过热保护、防冻液保护。
方面	长度（毫米）	850	930	1100	1100	1350	1450	1550	1600	1900	2150	2400	2000	2500
	宽度（毫米）	520	570	680	680	740	780	780	880	990	990	1100	1560	1780
	高（毫米）	1100	1150	1350	1350	1450	1550	1600	1600	1875	1875	1930	1850	1900
单位重量（千克）		85	120	150	170	210	260	320	450	550	620	780	850	950