产品介绍

HX-20SW半导体冷却设备专为洁净室环境而设计，可为晶圆制造和集成电路封装生产线提供精准的热管理。该设备采用先进的水冷涡旋式冷却器架构和数字微电脑控制，可与关键半导体设备和光刻冷却系统无缝集成，确保高占空比电子制造设备可靠的散热性能。

产品优势：

精密热控制：先进的微电脑控制将回路温度保持在±0.1°C的严格公差范围内，满足半导体机械所需的严格加工标准。

热力学效率：该水冷涡旋式冷水机旨在利用设施的冷冻水循环系统，优化传热效率，降低设施运行的总千瓦时消耗。

紧凑的洁净室占地面积：低振动轨道涡旋结构最大限度地减少了运行噪音和结构应力，使其能够灵活地集成到空间受限的洁净室子制造区域。

制造级安全性和可靠性：内置流量开关、双压力传感器和过热断电装置，确保我们的高精度工业冷水机提供全天候不间断的冷却保护。