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水冷式螺杆冷水机

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半导体精密工业冷水机

Semiconductor Chiller for Wafer Fabrication Cooling
Industrial Chiller for Lithography and Etching
Precision Chiller for Packaging and Testing

半导体精密工业冷水机

产品描述

这款产品是专为半导体制造行业设计的。 工业冷水机组 提供高精度 温度控制系统 可靠 工艺冷却机械集成先进技术 螺杆式冷水机 科技与环保 制冷剂产品它确保在严苛的生产环境下具有卓越的能源效率,以满足芯片制造的热要求。

 

产品 优势

这款产品是专为半导体行业设计的。 工业冷水机组 提供±0.1℃超高精度 温度控制系统完美符合洁净室要求。它具有节能特性。 螺杆式冷水机 架构采用智能监控技术,显著降低运营成本。利用卓越的 制冷剂产品 采用耐腐蚀部件,该装置保证长期连续运行,提供可靠的性能。 工艺冷却机械 支持光刻和蚀刻。

  • 型号 :

    HX-SL(单螺钉)
  • 产品名称 :

    水冷式螺杆冷水机
  • 制冷能力 :

    100~1200千瓦
  • 制冷剂 :

    R407C 环保型
  • 最小起订量 :

    1个单位
  • 应用 :

    晶圆制造、光刻与蚀刻、封装与测试以及气体净化
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高效水冷式单螺杆冷水机组

我们的工业级水冷式单螺杆冷水机组是高效制冷解决方案,旨在满足大型工业环境严苛的冷却需求,提供卓越的能源效率和运行稳定性。

  • 系列型号: HXSL(独立版)
  • 容量范围: 100~1200千瓦
  • 温度范围: 5°C ~ 30°C
  • 类型: 水冷螺杆式
  • 冷却介质:
Single-Screw Chiller Reliability

高效可靠的性能

我们的冷水机组采用品牌单螺杆压缩机,设计旨在实现最高的机械可靠性和全天候不间断运行。该系统能够有效处理巨大的热负荷,且活动部件更少,从而确保低噪音、低振动和长期的运行成本节约。


Industrial Cooling Flexibility

系统增强型设计特征

我们的冷水机组采用高效壳管式换热器和先进的电子或热膨胀装置,可灵活适应从冶金到半导体等各种行业的精确工艺需求。紧凑小巧的结构优化了厂房空间利用率,同时保持了卓越的制冷能力。


Intelligent Chiller O&M

智能化和简化的操作

该装置配备智能PLC控制系统,可提供实时监控和全面的安全保护逻辑。其人性化的用户界面便于自动化操作,而坚固耐用的设计则简化了维护,并在各个工业领域实现了显著的节能效果。


 

规格

模型HX-30SLHX-40SLHX-50SLHX-60SLHX-70SLHX-80SLHX-90SLHX-100SLHX-120SLHX-130SLHX-150SL
制冷能力kW96.4133.2174.8187.8233.3251.3296.1348.3375.1407.9495.3
千卡/小时82904114552150328161508200638216118254646299538322586350794425958
总功率kW23.330.838.642.55155.663.173.279.487.5104.8
运行电流A40.353.368.173.787.494.8109.6127.8138.4154.4179.4
电源三相 380V 50Hz
温度控制范围5℃-35℃
温度控制精度±2
制冷剂类型R407C
填充量kg1520253035404550606575
控制方法热平衡膨胀阀
压缩机启动星三角星
能源监管%0%-25%-50%-75%-100% (0%-33%-66%-100%)
形式半封闭式螺杆压缩机
力量kW23.330.838.642.55155.663.173.279.487.5104.8
蒸发器类型壳管
冷冻水流立方米/小时1824303642485460727890
管道直径PT 2-1/2"PT 3”PT 4"PT 5"
冷凝器类型壳管
冷却水流量立方米/小时22283542495663728492105
管道直径PT 2-1/2"PT 3”PT 4"PT 5"
安全防护压缩机过热保护、过电流保护、高低压保护、过温保护、流量保护、相序/缺相保护、排气过热保护、防冻液保护。
方面长度mm22002400250027002800280030003200340036003600
宽度mm950950100010001100120012501250125013001400
高度mm14501450150015001550160016501650165017001750
单位重量KG10301200138015201650180017301800190019802100

优势

Large Capacity Industrial Cooling Solution

高冷却负荷

Energy Efficient Chiller Technology

极致效率

Industrial Chiller Adaptability

高适应性

Intelligent Chiller Maintenance

智能运维

Compact Chiller Design

占地面积小

Screw Chiller Redundant Mutual Backup

内置冗余

 

 

应用领域

晶圆制造

用于晶圆制造的半导体冷却器

为超纯水循环系统和洁净室提供稳定的设施冷却。

 

Single-Screw Chiller for Chemical Reactor Cooling
石版印刷与蚀刻

用于光刻和蚀刻的工业冷却器

为核心芯片雕刻和干法蚀刻设备提供高效的散热,以保持微加工精度。

Industrial Chiller for Pharmaceutical Cleanroom Production
包装与测试

 

用于包装和测试的精密冷却器

支持芯片封装和电气测试过程中的温度控制和稳定运行。

 

Water Cooled Chiller for Food and Beverage Processing
气体净化

气体净化

在特殊电子气体冷却和净化过程中提供可靠的低温支持。

Industrial Cooling System for Electronics Manufacturing

 

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